本标准适用于半导体工业拉制单晶用的透明石英玻璃坩埚。半导体用透明石英玻璃坩埚有QSG1高纯透明石英玻璃坩埚与QSG2透明石英玻璃坩埚两种。一、技术栗求 1．物理、化学性能指标（1）化学成分 a．QSG1高纯透明石英玻璃坩埚铝、钙、镁、钛、铜、铁、钴、镍、锰、硼、钾、钠、锂十三个杂质元素的总含量不得大于0．001％。其中：铝≤5×l0[-4]％；铜≤0．l×l0[-4]％；铁≤0．5×l0[-4]％；硼≤0．1×l0[-4]％；钾≤1×l0[-4]％；钠≤1×10[-4]％。 6．QSG2透明石英玻璃坩埚铝、钙、镁、钛、铜、铁、钴、镍、锰、硼、钾、钠、锂十三个杂质元素的总含量不得大于0．01％。其中：铝≤60×10[-4]％；铜≤0．1×l0[-4]％；铁≤5×l0[-4]％；硼≤0．3×l0[-4]％；钾≤4×l0[-4]％；钠≤4×l0[-4]％。（2）热稳定性。试样在1100℃至20℃温度急变下试验三次，不产生裂纹。（3）抗析晶性试样在1200℃温度下恒温半小时，对于高纯透明石英玻璃坩埚不允许出现直径大于0．5毫米的析晶白点；对于透明石英玻璃坩埚不允许出现直径大于3毫米的析晶白点， 0.5￣3毫米的析晶白点，每100平方厘米不得超过10个。 2．外观指标（1）两种坩埚均按外观指标分为二级（见表1）。表１项目外观指标一 级二级气直径弧度部分 0.1￣0.2 0.3￣0.4毫米直线部分 0.1￣0.3 0.3￣0.7泡允许数量（个/厘米[2]）≤3≤6气丝状长径（毫米） 0.5￣3.0 1.0￣7.0泡点状直径（毫米） 0.3￣2.0 0.5￣3.0群允许总数（个/100厘米[2]）≤5≤8暗长径弧度部分毫米直线部分疤允许数量（条/100厘米[2]）≤2≤4色丝状长径（毫米） 0.1￣1.0 0.2￣1.5点状直径（毫米） 0.1￣0.3 0.2￣0.5斑允许总数（个/100厘米[2]）≤2≤4揪痕直径（毫米）不允许≤13揪揪痕深度（毫米）不允许≤0.3揪痕 D 100毫米以下坩埚不允许≤2痕数量 D 100￣130毫米坩埚≤3透明颗粒允许数量（个/100厘米[2]）≤10≤30波纹（毫米）≤0.2≤0.3桔皮不允许按标样云雾不允许不允许注：ⅱ①缺陷宽度小于点状下限的按丝状计。②非圆形缺陷的直径按算术平均值计。（2）坩埚口部应细磨（内外倒角）戍烧圆。不得有缺口，不得有深、宽大于4毫米的表皮崩落。（3）坩埚表面光滑整洁，内表面不允许有色斑。（4）不允许有沾污和析晶。二、形状与规格尺寸? 3．半导体用透明石英玻璃坩埚的形状与规格尺寸应符合下图及表2的规定。表２单位：毫米外径高度底半径厚度范围同一横截面的厚度公差 D H R 80+0.5 60+2 D-1 2.0￣2.8 0.3 -0.8 -1─── 2 90+0.5 70+2 D-1 2.0￣2.8 0.3 -0.8 -1─── 2 100+0.5 80+2 D-2 2.0￣2.8 0.3 -1.0 -1─── 2 106+0.5 90+2 D-1 2.0￣2.8 0.3 -1.0 -1─── 2 114+0.5 75±2 D-1 2.0￣2.8 0.3 -1.0─── 2 130+0.5 110±2 D-1 2.0￣2.8 0.4 -1.5─── 2注：D 130毫米以上坩埚按协议。三、试验方法 4．化学成分按JC 186－81《石英玻璃原料及制品中微量杂质元素的分析方法》中的规定进行。 5．热稳定性按JC 187－73《石英玻璃热稳定性检验方法》中的规定进行。 6．抗结晶性按JC 188－73《石英玻璃抗结晶性检验方法》中的规定进行。 7．气泡按JC190－81《透明石英玻璃气泡、气线检验方法》中的规定进行。