QSY、DSY透明石英玻璃仪器(代替JCl81—1973)
发布日期：1981-03-01
本标准主要用于半导体工业采用的透明石英玻璃仪器。其他冶金、化工、科学研究等所用透明石英玻璃仪器之技术要求均可参考本标准执行。
透明石英玻璃仪器有QSY透明石英玻璃仪器和DSY透明石英玻璃仪器两种。
技术要求
1．透明石英玻璃仪器的化学成分，热稳定性，抗结晶性和高温变色性，均不低于同类管材的要求。
2．透明石英玻璃仪器在加工过程中，应尽量消除应力，必须保证在常温下逐步升温至1100℃，在炉内自然冷却后无炸裂。
3．两种透明石英玻璃仪器均按加工部位的外观指标分为二级（见下表）。
项 目 一 级 二级
色 加工过程中混入（毫米） 0.1- 0.3 0.3- 1.0
斑 允许数量（个/100厘米[2]） ≤2 ≤2
外 管接口应做到轴向平行径向垂直加工 1/2管材壁厚 管材壁厚
表面凸凹不大于所用管材壁厚
型 长度未注明非重要部位的自由公差（毫米） ±3 ±3
锥度（比例） 1∶5、1∶10、1∶15 1∶5、1∶10、1∶15
磨口与未加工亮面呈直径圆周，弯曲度（毫米） ±1 ±2
磨 磨口内亮面（毫米[2]） 不允许 8
口 允许数量（个/100厘米[2]） 不允许 ≤1
配 塞口的高低公差（毫米） ±3 ±3
合 二通活塞对孔误差 ≤1/4 ≤1/3
多通活塞对孔误差 ≤1/2 ≤3/5
水 面积（毫米[2]） ≤10 11- 50
迹 允许数量（个/100厘米[2]） ≤2 ≤2
云 在加工复杂器件的过程中不易避免的部位 不允许 不允许
雾 （半透明云雾）
焊 焊接之弯曲处熔合圆滑 必须完全熔合 必须熔合
折料和料疙瘩处厚度 在壁厚公差范围内 在壁厚公差范围内
接 炸裂纹 不允许 不允许
析晶和指纹印 不允许 不允许
注：①密封性检验方法：将水盛入磨口仪器中，在不涂油脂的情况下，将塞塞紧，
倒翻10次，每次在10秒内，用滤纸擦试无渗出水液为封口性能合格。
②QSY透明石英玻璃仪器的非主体部分，在不影响性能的情况下，可用外径D19
毫米以下的DTS1透明石英玻璃管（棒）。
4．透明石英玻璃仪器，非加工部位（允许加工后达到要求）的技术要求如下。
（1）QSY透明石英玻璃仪器：
仪器的一级品外观指标不低于相应管材的二级品；
仪器的二级品外观指标不低于租应管材的三级品。
（2）DSY透明石英玻玛仪器：
仪器的一级品外观指标不低于相应管材的二级品；
仪器的二级品外观指标不低于相应管材的四级品。
