世界**大的三家薄膜晶体管液晶显示器面板(TFT-LCD)制造商之一的EntegrIS,Inc.(Nasdaq:ENTG)宣布,其已向LEXtar Electronics Corporation交付多台Aeronex气体净化系统。Entegris的Aeronex系统用于发光二极管(LED)制造,以帮助确保LED设备**终产品达到理想的亮度。
Lextar,一家营业地位于台湾的超高亮度LED(HBLED)产品的**制造商,购买了独立的Aeronex气体净化系统,以净化其基于氮化镓的LED制造流程中的氮气、氢气和氨气。该Aeronex系统可从金属有机气相沉积(MOCVD)流程所用的工艺气体中去除包括湿气和氧气等的多种污染物,使其含量降至十亿分之几的水平。这些污染物的去除可增强LED设备的光致发光。