旭硝子面向半导体制造工序中的再布线层,新开发出了感光性绝缘膜“AL PolymerX2000系列”。通过均衡实现热特性、电气特性及机械特性,提高了易用性。将用作钝化绝缘膜,在其上再布线及设置电极等。 该绝缘膜采用旭硝子的氟化学技术开发而成。兼具可不向元器件施加负担的低温硬化特性(热处理温度+180~250℃)、可提高速度的低介电率特性(相对介电率2.6~2.7)以及可提高接合可靠性的高拉伸特性(伸度20%)。此外,还具有高解像度、平坦及低吸水性,因此可用于趋于微细化及高速化的半导体电路的开发及制造。
本品将在旭硝子的千叶工厂进行生产,2009年1月开始销售。 (编辑:hongyuer)