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国产高亮度LED芯片生产关键设备 MOCVD下线

来源:中华建筑报 发布日期:2012-12-11 14:55:23 查看次数:
【九正建材网】 近年来,我国LED外延芯片与封装在规模和品质上都取得了举世瞩目的成就,产品国产化比例显著提升,但关键装备特别是量产型MOCVD仍然依靠进口,生产成本居高不下,严重制约着国内LED产业的发展。

代表国际尖端水平的高亮度LED芯片生产关键设备MOCVD(金属有机化学气相沉积设备)日前在正泰集团上海张江理想能源设备有限公司成功下线,打破了该领域长期被欧美企业垄断的局面,国内LED生产成本有望显著下降。

MOCVD 是高亮度LED芯片生产过程中**关键的设备,因设备技术难度高、开发周期长以及国内产业化起步晚等原因,市场主要被欧美企业垄断。近年来,我国LED外延芯片与封装在规模和品质上都取得了举世瞩目的成就,产品国产化比例显著提升,但关键装备特别是量产型MOCVD仍然依靠进口,生产成本居高不下,严重制约着国内LED产业的发展。2010年9月,理想能源启动MOCVD项目。在两年时间里,理想能源技术团队设计开发出了具有自主知识产权的MOCVD设备,并完成了**代单腔体独立设备和簇式生产系统的生产组装。

根据工艺验证结果和客户反馈,理想能源在**代原型机的基础上开发出了第二代量产型MOCVD设备,单腔一次可生产84片2英寸外延片,超过主流进口设备水平。量产机型在产出率、可靠性、运行经济性等方面都有了显著改善,非常适合商业化量产。

(钟 合)

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